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Adlyte AG

Zusammenfassung

Über die Firma

Adlyte AG entwickelt, konstruiert und betreibt Hochhelligkeits-Extrem‑Ultraviolett‑(EUV)-Lichtquellen auf Basis von lasererzeugtem Plasma (LPP) für die Halbleiterindustrie. Zum Produktportfolio gehören kompakte LPS‑ und leistungsfähige HPS‑Systeme mit Merkmalen wie getropften Zinnzielen, Trümmerschutz und Inline‑Überwachung für Anwendungen wie Maskeninspektion, Aerial Imaging und EUV‑Mikroskopie.

KI-generiert

Angebot

Produkte & Leistungen

Branche:Maschinenbauindustrie

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EUV-Lichtquellen

Turnkey EUV-Lichtquellen für die Halbleiterindustrie, für EUV-Lithographie, Maskeninspektion, Aerial Imaging Review, Mask Blank Inspection und EUV-Mikroskopie.

EUV-LPS- und HPS-Systeme

EUV-Lichtquellen in den Produktlinien LPS und HPS, mit unterschiedlicher Helligkeit für Low-Power- und Intermediate-Focus-Anwendungen.

Dienstleistungen für EUV-Systeme

Begleitende Services zur Optimierung des Betriebs, zur Anpassung an technische Anforderungen und zur Senkung der Betriebskosten.

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